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產(chǎn)品型號(hào)： MTM-3020MA
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特點(diǎn)：
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動(dòng)測(cè)量
4. 內(nèi)建偏光測(cè)量光學(xué)模塊
5. 高速/無(wú)接觸測(cè)量
6. 同軸光/底光測(cè)量
7. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)： E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm)型號(hào)MTM-3020MA工作臺(tái)金屬臺(tái)尺寸(mm)500 x 330玻璃臺(tái)尺寸(mm)350 x 250X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)300 x 200手動(dòng)Z軸行程(mm)120自動(dòng)Z軸行程(mm)2外形尺寸(mm)825 x 660 x 910儀器重量(kg)130X、Y、Z軸分辨力(μm)0.5自動(dòng)Z軸分辨力(μm)0.1示值誤差(μm)物鏡放大倍數(shù)誤差包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08%落射照明光源可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/div>底光照明光源可調(diào)高亮度LED燈源目視系統(tǒng)影像系統(tǒng)物鏡放大倍數(shù)5X、10X、20X、50X5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡目鏡放大倍數(shù)10X雙鏡筒1/2”CCD攝像機(jī)視頻總倍率50X ~500X142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)單層透明膜厚度測(cè)量模組高精度測(cè)量模式快速測(cè)量模式厚度測(cè)量范圍100nm ~300nm300nm ~500nm500nm ~3μm3μm ~20μm分辨力5nm5nm7.5nm0.1μm
